多晶硅還原電極的還原法生產(chǎn)工藝
發(fā)布時(shí)間：2022-7-21 14:57:55 來源:http://www.www.318122.com/ 作者: 鎮(zhèn)江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅還原電極還原法，生產(chǎn)過程中工藝氣體被硅芯電極加熱至110(TC左右，使三氯氫硅(SiHCl3)與氫氣(H2)反應(yīng)生成多晶硅并沉積在硅芯電極表面，形成硅棒。硅芯電極的工作電壓在15,000V左右，在如此高溫高壓的條件下，對硅芯電極的要求非常高。目前采用的硅芯電極主要包括電極體、加熱石墨頭硅芯、電極座，其中電極座與電極體之間用絕緣套簡進(jìn)行絕緣，絕緣套簡的成分為聚四氟乙烯。由于還原爐內(nèi)溫度非常高，雖然通過設(shè)備底盤對電極座進(jìn)行冷卻，但聚四氟乙烯絕緣體所處環(huán)境的溫度仍然很高，在長時(shí)間運(yùn)行后容易失效，造成電極座與電極體之間擊穿，導(dǎo)致生產(chǎn)事故。
文章出處：http://www.www.318122.com/gongsixinwen/431.html
上一篇：鈹鈷銅具有哪些突出的性能
下一篇：_!
相關(guān)新聞
- 2022-07-21多晶硅還原電極的還原法生產(chǎn)工藝
- 2022-07-21鈹鈷銅具有哪些突出的性能
- 2022-07-13鋅鋁合金焊絲的六個(gè)焊前準(zhǔn)備步驟
- 2022-06-22多晶硅還原電極的制作方法
- 2022-05-20鉻鋯銅電極的四個(gè)性能特點(diǎn)
- 2022-05-12多晶硅還原電極的主要特點(diǎn)與應(yīng)用
- 2022-04-26鉻鋯銅電極大量應(yīng)用于哪些方面
- 2022-04-18鉻鋯銅電極的軟化溫度是多少
相關(guān)產(chǎn)品
